Strumenti SEM-EDS

Microscopio Elettronico a Scansione - Hitachi SU3800

Applicazioni

Tramite il SEM SU3800 è possibile analizzare campioni conduttivi, o metallizzati, in alto o bassi vuoto. La camera di misura permette l’inserimento di campioni di grandi dimensioni adattandosi alle necessità industriali. È possibile ottenere immagini con informazioni morfologiche, composizionali e topologiche, grazie al detector a elettroni secondari e al detector a elettroni retrodiffusi a 4 quadranti più un quinto quadrante decentrato. Lo strumento consente anche di effettuare anche misure semiquantitative composizionali tramite il detector EDS da 40 mm². Tramite il software integrato è possibile effettuare simultaneamente l’analisi morfologica, BSE e EDS in tempo reale. Inoltre, il software della microanalisi permette di effettuare misure su grandi aree, zone ben delimitate, spot, scansioni lineare e mappe composizionali.

Caratteristiche tecniche

• Risoluzione:
  • Alto vuoto SE: 3.0 nm @ 30 kV; 15.0 nm @ 1 kV
  • Basso vuoto 6Pa BSE: 4.0 nm @ 30 kV
• Ingrandimenti: 5 - 300.000 X (foto 127 mm x 95 mm)
• Potenziale di accelerazione: 0.3 kV - 30 kV con step da 100 V
• Modalità di vuoto: alto vuoto, basso vuoto da 6 a 650 Pa
• Dimensioni massime campioni:
  • Diametro 200 mm
  • Altezza 80 mm
  • Massa 2 kg
• Base portacampione:
  • computer-eucentrico motorizzato a 5 assi con corsa 100 x 50 mm² in X e Y.
  • 5 – 65 mm di corsa sell’asse Z,
  • Inclinazione da -20 ° a + 90 °
  • Rotazione continua a 360°
• Detector imaging:
  • Elettroni secondari (SE), di tipo Everhart-Thornley, con voltaggio di accumulamento variabile
  • Elettroni retrodiffusi (BSE) a 5 settori combinabili in modo variabile, retraibile e utilizzabile a presione variabile
• Microanalisi a dispersione di energia (EDS)
  • Ultim Max 40 Analytical Silicon Drift EDS Detector
  • Detector area: 40 mm²
  • Risoluzione: MnKα 127eV @ 100,000cps